無氧烤箱也叫氮氣烤箱，真空烤箱應用于航空、航天、石油、化工、軍事、船舶、電子、通訊等科研及生產單位，主要作BPO膠/PI膠/BCB膠固化，IC(晶圓、CMOS、Bumping、TSV、MENS、指紋識別)、FPD、高精密電子元件、電子陶瓷材料無塵烘干，電工產品、材料、零備等的高溫潔凈和無氧環(huán)境中干燥和老化試驗。